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箱式多弧磁控鍍膜機(jī)
型號：YQDH-900DZX |
貨號：ZH5497 |
產(chǎn)品簡介
該鍍膜機(jī)可鍍制不銹鋼，鉻，鎢等多種金屬，也可鍍制合金膜或化合物，也可在工件表面上鍍制單層或多層介質(zhì)膜或金屬 ZrN TiCN TiAIN等硬質(zhì)或裝飾涂層，具有鍍膜速度快，膜層，好的優(yōu)點(diǎn)。
1 真空室：鍍膜室尺寸900×900×1000mm3 ；箱式，前開門結(jié)構(gòu)；
2 抽氣系統(tǒng)：機(jī)械泵：前，泵70L/S；維持泵：2×-8旋片泵；羅茨泵：擴(kuò)散泵：腔擴(kuò)泵；分子泵﹝選配﹞
3 ，限真空：5×10-4Pa; 恢復(fù)真空：5×10-3Pa﹝小于20min﹞;
4 鍍膜系統(tǒng)：平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源；小弧源/柱弧源；
5 輔助鍍膜系統(tǒng)：脈沖偏壓電源。條形離子源﹝選配﹞。
6 膜厚測量系統(tǒng)：石英晶體膜厚監(jiān)控系統(tǒng)﹝選配﹞。
7 進(jìn)氣系統(tǒng)：自動(dòng)壓強(qiáng)控制+多路，流量控制系統(tǒng)；
8 操作方式：手動(dòng)按鍵式；自動(dòng)控型配置：研華工控機(jī)，80G硬盤，512內(nèi)存+日本三菱PLC；15英寸液晶顯示觸摸屏界面；
9 旋轉(zhuǎn)夾具：公轉(zhuǎn)/自轉(zhuǎn)夾具，速度從0～15r/min 無，可調(diào)；
10 工作烘烤：室溫～300 ℃；
11 供電電源：三相380V，50HZ。
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